[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201510828720.1 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN105655400B | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 佐佐木俊成 | 申请(专利权)人: | 株式会社日本显示器 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/34;H01L29/10 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 徐殿军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的是提供一种能够提高导通电流的半导体装置。半导体装置具有:第1电极;第1绝缘层,设置有到达第1电极的第1开口部,并且在第1开口部具有环状的第1侧壁;氧化物半导体层,配置于第1侧壁,并且与第1电极连接;栅极绝缘层,配置于氧化物半导体层上;栅电极,与配置于第1侧壁的所述氧化物半导体层对置;和第2电极,配置于第1绝缘层的上方,并且与氧化物半导体层连接,氧化物半导体层配置于第1侧壁与栅极绝缘层之间,栅极绝缘层配置于氧化物半导体层与栅电极之间。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,其特征在于,所述半导体装置具有:第1电极;第1绝缘层,设置有到达所述第1电极的第1开口部,在所述第1开口部具有环状的第1侧壁;氧化物半导体层,配置于所述第1侧壁,与所述第1电极连接;栅极绝缘层,配置于所述氧化物半导体层上;栅电极,与配置于所述第1侧壁的所述氧化物半导体层对置;和第2电极,配置于所述第1绝缘层的上方,与所述氧化物半导体层连接,所述氧化物半导体层配置于所述第1侧壁与所述栅极绝缘层之间,所述栅极绝缘层配置于所述氧化物半导体层与所述栅电极之间。
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