[发明专利]一种AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液

摘要

本发明公开了一种AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液，其组分包括：3～10%重量的硝酸、10～25%重量的醋酸、30～60%重量的磷酸和可溶性正磷酸盐的混合物、1～5%重量的添加剂、余量的去离子水、添加剂包含硝酸盐。可溶性正磷酸盐的加入可以适当增加蚀刻液的粘度，保证蚀刻过程中蚀刻表面具有合理的反应物和生成物浓度梯度，与现有技术中相比，可适当降低银蚀刻速率，有利于实现均匀蚀刻、得到可控的电极形状；可明显减少蚀刻过程中醋酸和硝酸、亚硝酸的分解，有助于实现蚀刻过程的绿色生产。

主权项

一种AMOLED用ITO‑Ag‑ITO蚀刻液，其特征在于，其组分按重量百分比计包括：（1）3～10%重量的硝酸；（2）10～25%重量的醋酸；（3）30～60%重量的磷酸和可溶性正磷酸盐的混合物；（4）1～5%重量的添加剂；（5）余量的去离子水；添加剂包含硝酸盐。