[发明专利]彩色滤光基板及其形成方法和光罩

摘要

本发明提供一种彩色滤光基板及其形成方法和光罩，其中，彩色滤光基板包括形成于额缘区的不等厚彩色光阻层。所述不等厚彩色光阻层在与开口区彩色光阻位置对应的区域具有第一厚度，所述不等厚彩色光阻层在与开口区光阻垫块相对应位置的区域具有第二厚度，所述第二厚度小于所述第一厚度。这样在所述额缘区不等厚彩色光阻层中第二厚度对应位置处形成间隔柱时，所述间隔柱下方的不等厚彩色光阻层较薄，而所述间隔柱的绝对高度大于开口区光阻垫块上形成的间隔柱，从而使额缘区和开口区间隔柱顶部相对基板上表面的高度相当，进而可以提高显示的均匀度。

主权项

一种彩色滤光基板，其特征在于，包括：基板；形成于基板上的黑色矩阵，所述黑色矩阵包括形成有多个开口的开口区和位于开口区周围的额缘区；形成于所述黑色矩阵上的彩色光阻层；形成于开口区的彩色光阻层包括填充于开口中的多个彩色光阻和覆盖于相邻彩色光阻之间黑色矩阵上的光阻垫块，形成于所述额缘区的彩色光阻层为覆盖在黑色矩阵上的不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层包括与开口区彩色光阻位置对应的第一厚度区域和与开口区光阻垫块位置相对应的第二厚度区域，所述第一厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第一厚度，所述第二厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第二厚度，所述第二厚度小于所述第一厚度；形成于彩色光阻层上的间隔柱；所述开口区的间隔柱形成于所述光阻垫块上，所述额缘区的间隔柱形成于第二厚度区域。