[发明专利]一种封装结构、显示装置及其制作方法

摘要

本发明提供一种封装结构，包括：薄膜封装层，其中，薄膜封装层包括至少一层无机层和至少一层钝化层；钝化层包含含有卤族元素的非晶态固体氧化物薄膜。钝化层包括第一活性薄膜层和第二活性薄膜层，第一活性薄膜层和第二活性薄膜层的氧原子与卤族元素原子的摩尔比不同。第一活性薄膜表面活性能降低，因而具有更低的热膨胀系数和更佳的表面黏着能力。钝化层中的第二活性薄膜层相对于第一活性薄膜层氧含量更高，游离氧的引入使得第一活性薄膜层化学结构更加的紧实无缺陷，因而获得极佳的阻隔水氧的效果。

主权项

1.一种封装结构，其特征在于，包括薄膜封装层，其中，所述薄膜封装层包括至少一层无机层和至少一层钝化层，所述钝化层包括含有卤族元素的非晶态固体氧化物薄膜，所述非晶态固体氧化物薄膜具有多面体交联网络结构；所述钝化层包括第一活性薄膜层和第二活性薄膜层，所述第一活性薄膜层和所述第二活性薄膜层的氧原子与卤族元素原子的摩尔比不同。