[发明专利]一种多线硅片切割水溶性切削液及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510844920.6 申请日: 2015-11-27
公开(公告)号: CN105273823B 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 蔺华林;韩生;王爱民;周祖新;吴志桥;余焓;于飞;卢德力;蒋继波;李原婷;邱丰;裴素鹏;祝俊;何忠义;熊丽萍 申请(专利权)人: 上海应用技术学院
主分类号: C10M173/02 分类号: C10M173/02;C10N30/06;C10N30/04
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 杨军
地址: 200235 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及切削液技术领域,具体地说是一种多线硅片切割水溶性切削液及其制备方法,该多线硅片切割水溶性切削液的各原料组分按重量百分比计算,其组成及含量如下:30‑40%渗透剂、7‑15%的表面活性剂、10‑15%的润滑剂、20‑30%分散剂和余量的水组成,该多线硅片切割水溶性切削液的制备方法包括如下步骤:在水中,依次加入渗透剂、表面活性剂、润滑剂、分散剂后,进行搅拌混合均匀,即得多线硅片切割水溶性切削液;本发明同现有技术相比,不仅具有良好的侵润性和排屑能力,能够满足整个切割过程对切割液的质量要求和技术标准,且保证了杰出的润滑性和冷却性能,在被清洗性、分散性、再生利用性等方面也都具有优越性能。
搜索关键词: 水溶性切削液 硅片切割 多线 制备 表面活性剂 分散剂 润滑剂 渗透剂 重量百分比计算 再生利用性 技术标准 冷却性能 排屑能力 切割过程 分散性 切割液 切削液 侵润性 清洗性 润滑性 水中 保证
【主权项】:
一种多线硅片切割水溶性切削液,其特征在于,各原料组分按重量百分比计算,其组成及含量如下:所述渗透剂为聚乙二醇、十六碳醇、十八碳醇、二甘醇中任意两种或以上混合物;所述表面活性剂为琥珀酸酯钠盐、乙二醇单丁醚、二乙二醇乙醚或二乙二醇丁醚;所述润滑剂为聚氧乙烯3醚、聚氧乙烯9醚、聚氧乙烯12醚或脂肪醇EO/PO聚醚;所述分散剂为聚乙烯月桂酸酯、丙烯酸聚乙二醇共聚物或椰子油酸聚氧乙烯酯。
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