[发明专利]一种高次谐振型石英音叉微悬臂及制作方法在审
| 申请号： | 201510845471.7 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN105372454A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 郑志月;许瑞;程志海 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100080 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高次谐振型石英音叉微悬臂及制作方法。该高次谐振型石英音叉微悬臂包括：石英音叉本体；所述石英音叉本体包括音叉基部、振动臂和固定臂；所述振动臂和所述固定臂均与所述音叉基部相连；所述振动臂包括第一区域和第二区域，所述第一区域相距所述固定臂的距离小于所述第二区域相距所述固定臂的距离，以使所述高次谐振型石英音叉微悬臂的高阶本征频率是基础频率的整数倍。本发明提出的高次谐振型石英音叉微悬臂及制作方法，调谐了高阶本征模式的振荡频率与基频的耦合，可以实现除基频外更多频率信号的探测，能够提供很高的灵敏度和分辨率，从而实现针尖与样品间力的非线性以及样品更多物性的探测和研究。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 石英 音叉 悬臂 制作方法 | ||
【主权项】：
一种高次谐振型石英音叉微悬臂，其特征在于，包括：石英音叉本体(1)；所述石英音叉本体(1)包括音叉基部(11)、振动臂(12)和固定臂(13)；所述振动臂(12)和所述固定臂(13)均与所述音叉基部(11)相连；所述振动臂(12)包括第一区域(121)和第二区域(122)，所述第一区域(121)相距所述固定臂(13)的距离小于所述第二区域(122)相距所述固定臂(13)的距离，以使所述高次谐振型石英音叉微悬臂的高阶本征频率是基础频率的整数倍。
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