[发明专利]鳍型场效应晶体管中鳍边缘粗糙度效应的电路仿真方法

摘要

本发明公开了一种鳍型场效应晶体管中鳍边缘粗糙度的电路仿真方法，属于微电子器件领域。该电路仿真方法基于可预测性集约模型，首先从鳍线条的电镜照片中提取出粗糙的鳍边缘，计算它的自相关函数，然后利用计算公式得到鳍边缘粗糙度影响下的鳍宽的分布，嵌入到电路仿真软件的仿真网表中进行电路仿真，即可得到鳍边缘粗糙度所造成的电路性能参数。采用本发明可以很准确地得到的器件特性涨落影响，且所有参数都可以用TCAD蒙特卡洛仿真得到的结果进行基准调整。与传统方法相比，可以预测器件的亚阈斜率SS的涨落,以及亚阈斜率SS涨落和阈值电压Vth的相关性。

主权项

1.一种鳍型场效应晶体管中鳍边缘粗糙度的电路仿真方法，包括如下步骤：1)从鳍线条的电镜照片中提取出粗糙的鳍边缘，计算它的自相关函数；2)利用公式f(δWFin，min)≈(1‑α)·f1(δWFin，min)+α·f2(δWFin，min)，得到鳍边缘粗糙度影响下的鳍宽的分布值；其中f(δWFin，min)为鳍宽的分布值；WFin，min为最小鳍宽；f1＝pdf(δWFin)其中，pdf(δW_Fin)和cdf(δW_Fin)为鳍宽偏量δW_Fin的概率密度分布和累计概率密度分布，通过测量得到；而为滑动平均因子，参数m通过拟合得到；L_g为鳍宽；Δ_FER为鳍边缘粗糙度的均方根；Λ_FER为鳍边缘粗糙度的相关长度；3)将f(δWFin，min)嵌入到电路仿真软件的仿真网表，或先利用f(δWFin，min)计算得到δWFin，min的均值和方差，再将其嵌入到电路仿真软件的仿真网表中，用电路仿真软件进行电路仿真，即可得到鳍边缘粗糙度所造成的电路性能。