[发明专利]一种数模混合芯片测试的抗干扰方法在审
| 申请号： | 201510846846.1 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106814299A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 武平;孙昕;何超;石志刚 | 申请（专利权）人： | 北京确安科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/3167 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种数模混合芯片测试的抗干扰方法，从探针卡设计制作上考虑，探卡基板设计采取数模对称图形；缩小射频信号路径外的屏蔽地过孔，降低射频信号路径长度等，在制作探针时射频信号采用同轴线，并避免同轴线不交叉等方法，解决了含有射频功能数模混合芯片晶圆测试时产生的干扰问题，提高了测试稳定性，满足了量产测试需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 数模 混合 芯片 测试 抗干扰 方法 | ||
【主权项】：
一种数模混合芯片测试的抗干扰方法其特征在于；探卡基板设计上采用数模对称图形；射频信号探针采用同轴线。
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