[发明专利]LAVACOAT型的预清洁与预热

摘要

本文描述的实施例提供在部件的表面的改变之前使用电磁束进行表面制备的方法，该方法有利地改善那些位置中的最终纹理的质量且相应地减少粒子污染。在实施例中，提供一种对用于半导体处理腔室中的部件的表面提供纹理的方法。该方法包含：在部件的该表面上界定多个区域、将电磁束移动至该多个区域中的第一区域、横跨该第一区域的表面扫描该电磁束以加热该第一区域的该表面，及横跨该第一区域的该经加热的表面扫描该电磁束以形成特征结构。

主权项

一种对用于半导体处理腔室中的部件的表面提供纹理的方法，包含以下步骤：在所述部件的所述表面上界定多个区域，其中所述多个区域的每个区域包含多个单元；将电磁束移动至所述多个区域中的第一区域；散焦所述电磁束；横跨所述第一区域的表面扫描经散焦的电磁束以加热所述第一区域的所述表面，其中横跨所述第一区域的表面扫描经散焦的电磁束以加热所述第一区域的所述表面的步骤包含以下步骤：将所述第一区域的所述表面熔融至预定深度；重新聚焦所述电磁束；及横跨所述第一区域的经加热的表面扫描经重新聚焦的电磁束，以在所述多个单元的每个单元中形成特征结构。