[发明专利]一种镀膜系统以及提高切削刀具的镀膜附着力的方法

摘要

本发明公开了一种镀膜系统，包括镀膜室、气体单元、质量流量控制单元、放电控制单元、以及真空单元，其中所述放电控制单元包括设置于镀膜室内的两个阴极靶、增置阳极、以及设置于镀膜室外的弧电源、稳压电源和多个开关。本发明还提供了提高切削刀具的镀膜附着力的方法，该方法中应用了该镀膜系统，使两个阴极靶中的任意一个阴极靶与镀膜室相连，另一个阴极靶与增置阳极相连，至少有一个阴极靶对增置阳极放电。本发明提供的镀膜系统和利用增置阳极提高切削刀具的镀膜附着力的方法，通过提高放电电压并增置阳极，使靶材离化率提高，利用势能使得镀膜附着力明显提升。

主权项

1.一种镀膜系统，包括镀膜室、气体单元、质量流量控制单元、放电控制单元、以及真空单元，其特征在于：所述放电控制单元包括设置于镀膜室内的两个阴极靶、增置阳极、以及设置于镀膜室外的弧电源、稳压电源和多个开关，所述两个阴极靶包括第一阴极靶和第二阴极靶，增置阳极包括第一增置阳极和第二增置阳极，弧电源包括第一弧电源和第二弧电源，稳压电源包括第一稳压电源和第二稳压电源；所述第一阴极靶与所述第一弧电源的负极相连，所述第一弧电源的正极与所述镀膜室通过第三开关相连，第一弧电源的正极与所述第二增置阳极通过第七和第四开关相连；所述第一稳压电源的负极与所述镀膜室连接，所述第一稳压电源的正极与所述第一增置阳极通过第五开关和第一开关连接；所述第二阴极靶与所述第二弧电源的负极相连，所述第二弧电源的正极与所述镀膜室通过第二开关相连，第二弧电源的正极与所述第一增置阳极通过第六开关和第一开关相连；所述第二稳压电源的负极与所述镀膜室连接，所述第二稳压电源的正极与所述第二增置阳极通过第八开关和第四开关连接；第二增置阳极内部装置磁铁，其感应强度设为500‑1000高斯。