[发明专利]气压测量装置及方法、调焦调平装置及光刻机设备有效
| 申请号： | 201510856576.2 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106814545B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王丽;王海江 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;G01L13/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气压测量装置、气压测量方法、调焦调平装置和光刻机设备。气压测量装置包括连接至供气装置的参考管路和多个测量管路；位于参考管路一端的参考管路气嘴，参考管路气嘴设置于一参考平面上方，用于向参考平面喷射气体；位于每个测量管路一端的分支测量管路气嘴，多个分支测量管路气嘴并排设置于同一测量平面上方，用于向测量平面喷射气体；连接于参考管路和多个测量管路之间的气压计；连接至吸气装置的多个吸气管路及位于每个吸气管路一端的分支吸气管路气嘴，多个分支吸气管路气嘴并排设置于测量平面上方，并且，一个分支测量管路气嘴周围设置至少两个分支吸气管路气嘴，用于吸走测量管路周围的气体，提高了位置测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 气压 测量 装置 方法 调焦 平装 光刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种气压测量装置，其特征在于，包括：连接至供气装置的参考管路和多个测量管路；位于所述参考管路一端的参考管路气嘴，所述参考管路气嘴设置于一参考平面上方，用于向所述参考平面喷射气体；位于每个所述测量管路一端的分支测量管路气嘴，多个所述分支测量管路气嘴并排设置于同一测量平面上方，用于向所述测量平面喷射气体；连接于所述参考管路和多个所述测量管路之间的气压计；连接至吸气装置的多个吸气管路及位于每个所述吸气管路一端的分支吸气管路气嘴，多个所述分支吸气管路气嘴并排设置于所述测量平面上方，并且，一个所述分支测量管路气嘴周围设置至少两个所述分支吸气管路气嘴，用于吸走所述测量管路周围的气体。
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