[发明专利]红外滤光片镀膜的工艺方法、装置及得到的红外滤光片在审
| 申请号： | 201510856690.5 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN105274487A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 张绍达;邓杨;陈宇龙;俎伟明;上官建林 | 申请（专利权）人： | 深圳市美思先端电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋;侯潇潇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种红外滤光片镀膜的装置，包括依次连接的进样腔室(100)、镀膜单元以及能够进出所述镀膜单元的进样台(400)，为装置提供电子的外接电源。本发明提供的工艺方法简单，能够同时实现红外滤光片的双面镀膜，操作时间较现有技术缩短了至少1/2，且能够制作多层膜系的红外滤光片，膜系层数没有上限，可根据实际情况进行选择；提供的装置能够实现红外滤光片的双面镀膜，且生产线较现有技术大幅缩短，尤其对于层数较多(≥10层)的膜系的红外滤光片，生产线也没有额外较2层膜系的红外滤光片增加；提供的红外滤光片的膜系任选，没有层数限定，尤其适用于层数较多的膜系，为红外滤光片的应用范围提供更加广泛的选择。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 滤光 镀膜 工艺 方法 装置 得到 | ||
【主权项】：
一种红外滤光片镀膜的装置，其特征在于，所述装置包括依次连接的进样腔室(100)、镀膜单元以及能够进出所述镀膜单元的进样台(400)，为装置提供电子的外接电源；所述镀膜单元包括依次连接的高折射率材料镀膜腔室(200)和低折射率材料镀膜腔室(300)；或者依次连接的低折射率材料镀膜腔室(300)和高折射率材料镀膜腔室(200)；所述高折射率材料镀膜腔室(200)内具有相对设置的高折射率材料靶材(203)和用于氩气进入的布气口，所述高折射率材料靶材接通电源后呈负电压；所述低折射率材料镀膜腔室(300)内具有相对设置的高折射率材料靶材(303)和用于氩气进入的布气口，所述低折射率材料靶材接通电源后呈负电压；所述进样台(400)具有样品放置架(401)，用于将样品以待镀膜位置暴露的状态固定在进样台上；所述腔室、样品放置架接通电源后成正电压。
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