[发明专利]TFT阵列基板及其制作方法

摘要

本发明提供一种TFT阵列基板及其制作方法，以扫描线(2)的图案为掩模版，对衬底基板(1)进行干蚀刻，在衬底基板(1)与扫描线(2)的爬升斜坡(21)的相交处形成一过渡斜坡(13)，数据线(4)及绝缘层(3)经由该过渡斜坡(13)、与爬升斜坡(21)翻过扫描线(2)，相比于现有技术，能够使得在数据线与扫描线交叉处，数据线及绝缘层的爬坡较平缓，从而能够防止数据线与扫描线交叉处的静电击伤、及数据线在爬坡区断开造成垂直断线的问题，保证TFT阵列基板的质量。

主权项

1.一种TFT阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板(1)、设于所述衬底基板(1)上的数条平行排列的扫描线(2)、覆盖所述数条平行排列的扫描线(2)及衬底基板(1)的绝缘层(3)、及设于所述绝缘层(3)上的数条平行排列的数据线(4)；所述数据线(4)与扫描线(2)在空间上垂直交叉；所述衬底基板(1)包括：与所述扫描线(2)的直接接触的第一部分(11)、及与绝缘层(3)直接接触的第二部分(12)，所述衬底基板(1)的第一部分(11)的上表面高于第二部分(12)的上表面，所述第一部分(11)与第二部分(12)通过过渡斜坡(13)相连；所述扫描线(2)的两侧面分别相对于所述衬底基板(1)的第一部分(11)的上表面倾斜，形成爬升斜坡(21)；所述数据线(4)及绝缘层(3)经由该过渡斜坡(13)、与爬升斜坡(21)翻过扫描线(2)；所述过渡斜坡(13)呈圆弧状，圆弧的一端与所述衬底基板(1)的第二部分(12)的上表面相切，另一端与爬升斜坡(21)相切。