[发明专利]适用于电池片或硅片传输的高精度视觉定位系统及其方法在审
申请号: | 201510864089.0 | 申请日: | 2015-12-01 |
公开(公告)号: | CN105514013A | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
发明(设计)人: | 樊坤;贾京英;刘良玉;郭立;曹骞 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/677 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 周长清;戴玲 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种适用于电池片或硅片传输的高精度视觉定位系统,包括节拍式传输带机构、相机调整机构以及定位机构,相机调整机构包括相机和可带动相机沿X轴方向和Y轴方向移动的相机安装架,定位机构包括吸盘、升降驱动件、旋转驱动件和调整架,吸盘用于吸住电池片或硅片,升降驱动件用于驱动吸盘升降,调整架用于带动吸盘沿X轴方向和Y轴方向移动,以节拍式传输带机构的传送方向为X轴,相机调整机构的下游设有喷墨打印单元或检测单元,具有结构简单、成本低、定位精度高的优点;本发明的定位方法包括调节相机位置并定义定位基准、拍照并计算偏移量、开始拍照、调节硅片位置、打印或检测等步骤,具有操作方便、定位精确的优点。 | ||
搜索关键词: | 适用于 电池 硅片 传输 高精度 视觉 定位 系统 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种适用于电池片或硅片传输的高精度视觉定位系统,其特征在于,包括节拍式传输带机构(2)、位于节拍式传输带机构(2)上方的相机调整机构(1)以及位于节拍式传输带机构(2)下方的定位机构(3),所述相机调整机构(1)包括相机(4)和可带动相机(4)沿X轴方向和Y轴方向移动的相机安装架(31),所述节拍式传输带机构(2)用于间歇式传送所述电池片或硅片(25),所述定位机构(3)包括吸盘(17)、升降驱动件(32)、旋转驱动件(33)和调整架(34),所述吸盘(17)用于吸住所述电池片或硅片(25),所述升降驱动件(32)用于驱动吸盘(17)和吸盘(17)上的电池片或硅片(25)升降,所述调整架(34)用于带动吸盘(17)和吸盘(17)上的电池片或硅片(25)沿X轴方向和Y轴方向移动,其中以节拍式传输带机构(2)的传送方向为X轴,所述相机调整机构(1)的下游设有喷墨打印单元或检测单元(28),所述吸盘(17)固定在升降驱动件(32)上,所述升降驱动件(32)固定在旋转驱动件(33)上,所述调整架(34)包括X轴直线电机(13)和Y轴直线电机(21),所述旋转驱动件(33)安装在X轴直线电机(13)的滑台上,所述X轴直线电机(13)安装在Y轴直线电机(21)的滑台上。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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