[发明专利]一种砂轮修整装置在审
| 申请号： | 201510866894.7 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN105415193A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 张景瑞;张敏杰;贺东葛;刘宇光;李远航 | 申请（专利权）人： | 北京中电科电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/053 | 分类号： | B24B53/053 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 100176 北京市经*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种砂轮修整装置，应用于晶圆磨削设备，包括：一用于砂轮修整的修整部；一用于带动修整部转动的旋转机构，修整部固定连接于旋转机构；一线性马达模组(1)，线性马达模组(1)上设置有一模组连接板(2)，旋转机构与模组连接板(2)固定连接，通过模组连接板(2)在线性马达模组(1)上沿线性方向的移动带动修整部进给。这样在晶圆磨削的同时对砂轮进行及时清理和修整，以减少晶圆无效磨削时间，并提高晶圆磨削精度；同时，修整部的旋转速率和进给速率可以通过驱动器控制，保证砂轮修整的效率；并且该砂轮修整装置结构简单可靠、使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砂轮 修整 装置 | ||
【主权项】：
一种砂轮修整装置，应用于晶圆磨削设备，其特征在于，包括：一用于砂轮修整的修整部；一用于带动所述修整部转动的旋转机构，所述修整部固定连接于所述旋转机构；一线性马达模组(1)，所述线性马达模组(1)上设置有一模组连接板(2)，所述旋转机构与所述模组连接板(2)固定连接，通过所述模组连接板(2)在所述线性马达模组(1)上沿线性方向的移动带动所述修整部进给。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中电科电子装备有限公司，未经北京中电科电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510866894.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种双端面磨床用摇臂式修整机构
- 下一篇：自定义保持架
