[发明专利]一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法

摘要

本发明公开了一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法，涉及传感器技术领域。本发明包括质量块和压电敏感元件，所述压电敏感元件上设置有Z轴轴向压力敏感输出电极对、Y轴轴向压力敏感输出电极对、X轴轴向压力敏感输出电极对和质量块焊接电极；所述质量块通过质量块焊接电极焊接在压电敏感元件顶部；本发明采用新型的集成结构模型，将Z轴压缩式感应输出与X、Y轴剪切感应输出集成一体，通过后续的分区极化，实现了X、Y及Z轴的敏感输出，技术得到了较大的革新改进。

主权项

1.一种集成压电式万向冲击传感器，包括质量块（1）和压电敏感元件（2），其特征在于：所述压电敏感元件（2）上设置有Z轴轴向压力敏感输出电极对（21/22）、Y轴轴向压力敏感输出电极对（23/24）、X轴轴向压力敏感输出电极对（25/26）和质量块焊接电极（27）；所述质量块（1）通过质量块焊接电极（27）焊接在压电敏感元件（2）顶部；以压电敏感元件（2）轴向垂直方向定义为Z轴，与Z轴垂直的水平方向定义为X轴，与X轴及Z轴组成的平面垂直的方向定义为Y轴；所述Z轴轴向压力敏感输出电极对（21/22）包括Z轴轴向压力敏感输出正电极（21）和Z轴轴向压力敏感输出负电极（22）；所述Z轴轴向压力敏感输出电极对（21/22）是通过压电敏感电极组Ⅰ（21a、21b…21n/22a、22b…22n）以叠层平面结构交叉分布在Z轴轴向分别连接正、负电极而组成的Z轴轴向压力敏感输出电极对（21/22）；所述X轴轴向压力敏感输出电极对（25/26）包括X轴轴向压力敏感输出正电极（25）和X轴轴向压力敏感输出负电极（26）；所述X轴轴向压力敏感输出电极对（25/26）是通过电极组Ⅱ（25a、25b…25n/26a、26b…26n）以金属通孔阵列结构交叉分布且沿X轴轴向连接形成的X轴轴向压力敏感输出电极对（25/26）。