[发明专利]一种基于超高真空条件下固体表面接触角测量装置及测量方法

摘要

本发明涉及一种基于超高真空条件下固体表面接触角测量装置及测量方法，为金属腔体构成的封闭体系，其一端通过闸板阀与超高真空系统相连接，控制装置的抽空及进气；腔体上装备有两个相对的视窗，实现样品表面上液滴的成像；腔体上接有全量程真空计，实现腔体真空度的检测；腔体内置组件包含传样杆，实现样品在该装置和超高真空系统之间的转移；腔体内置组件包含样品台，实现样品的装载；腔体内置组件包含带有进液阀的毛细管，实现微升级液滴的调控；腔体外置组件包含面光源和CCD摄像头，通过视窗实现液滴的成像；腔体外置组件包含进液枪，和毛细管一起实现液滴的微升级调控；腔体外置组件包含抽气机组，实现腔体的抽空。

主权项

一种基于超高真空条件下固体表面接触角测量装置，其特征在于包括：金属可密闭的腔体，腔体一端与超高真空系统相连接；位于腔体内的样品转移系统和装载系统，样品转移系统为传样杆，实现样品在腔体和超高真空系统之间的转移；装载系统为样品台，实现样品的装载；样品测量系统，包括两个光学视窗、CCD摄像头、面光源、进液枪、进液阀、毛细管；其中毛细管位于腔体内，进液阀可实现超高真空与常压液体的隔绝；进液枪位于腔外，与带有进液阀的毛细管实现微升级液滴的调控；光学视窗位于腔体上，面光源实现背景亮度调节，面光源和CCD摄像头位于腔体外，通过光学视窗实现样品表面上液滴的成像；位于腔体上连接的全量程真空计，实现腔体真空度的检测；抽气及进气系统，位于腔体外，实现腔体的抽空及进气。