[发明专利]光掩膜版用石英玻璃基板的退火工艺在审
| 申请号： | 201510878336.2 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN105417939A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 沈建兴 | 申请（专利权）人： | 太仓市建兴石英玻璃厂 |
| 主分类号： | C03B25/00 | 分类号： | C03B25/00 |
| 代理公司： | 北京瑞思知识产权代理事务所(普通合伙) 11341 | 代理人： | 张建生 |
| 地址： | 215499 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光掩膜版用石英玻璃基板的退火工艺，包括如下步骤：（1）加热；（2）时效处理；（3）降温。本发明一种光掩膜版用石英玻璃基板的退火工艺，可以有效消除石英玻璃片在制备过程中由于温差产生的热应力，从而改善其光学均匀性、机械强度和结构稳定性，提高石英玻璃片的质量和应用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩膜版用 石英玻璃 退火 工艺 | ||
【主权项】：
一种光掩膜版用石英玻璃基板的退火工艺，其特征在于，包括如下步骤：（1）加热：将石英玻璃基板置于程序加热炉内，以两端式升温速率快速升温至1150～1200℃；（2）时效处理：将步骤（1）中升温后的石英玻璃基板恒温保持一定时间；（3）降温：将步骤（2）中时效处理后的石英玻璃程序降温至一定温度，再关闭程序加热炉的电源，随炉冷却至室温。
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