[发明专利]一种三组光栅微结构共轴反射式实时监控激光蚀刻系统

摘要

本发明公开了一种三组光栅微结构共轴反射式实时监控激光蚀刻系统，包括激光器、针孔滤波器和共轴反射式光学系统、实时监控系统，针孔滤波器放置在激光器的输出束腰位置，共轴反射式光学系统包括共轴的反射式双曲面扩束镜、折叠反射镜、抛物面准直反射镜和三个波面分割平面反射镜，折叠反射镜位于反射式双面扩束镜和抛物面准直反射镜之间，三个波面分割平面反射镜位于折叠反射镜和抛物面准直反射镜之间；实时监控系统包括依次连接的物镜、光电探测器、成像电路和操控计算机。本发明能够一次性同步蚀刻对称分布的三组光栅，三组光栅面积大，可保证光栅条纹和周期无畸变，精确度高，工艺一致性好，工作效率高，有利于提高产品质量和降低成本。

主权项

一种三组光栅微结构共轴反射式实时监控激光蚀刻系统，包括激光器、针孔滤波器和共轴反射式光学系统、实时监控系统，其特征在于，所述针孔滤波器的表面处理为黑体，针孔滤波器上通过激光打出小孔，所述针孔滤波器放置在激光器的输出束腰位置；所述共轴反射式光学系统包括共轴的反射式双曲面扩束镜、折叠反射镜、抛物面准直反射镜和三个波面分割平面反射镜，所述折叠反射镜的中心开设有一个小孔，所述折叠反射镜位于反射式双面扩束镜和抛物面准直反射镜之间；三个波面分割平面反射镜呈中心对称均匀分布，且三个波面分割平面反射镜位于折叠反射镜和抛物面准直反射镜之间，三个波面分割平面反射镜上分别设有方位调节机构，形成的三支激光束两两干涉，产生三组干涉条纹光强分布，通过曝光同步制作三组光栅；所述实时监控系统包括依次连接的物镜、光电探测器、成像电路和操控计算机，被监测曝光面依次通过物镜的透射成像、光电探测器的光电信号转换、成像电路的信号处理和操控计算机的实时显示，操控计算机对快门实时控制。