[发明专利]基板传送装置及基板传送方法在审
| 申请号： | 201510883877.4 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN105417164A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李昊 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板传送装置及基板传送方法。本发明的基板传送装置包括托盘(1)、设于数个轴(21)上的数个传送齿轮(2)、数个升降杆(3)；托盘(1)上设有凹槽(11)，凹槽(11)底部设有数个通孔(12)，托盘(1)底部设有锯齿(13)；数个升降杆(3)可穿过数个通孔(12)上升与下降；数个传送齿轮(2)与锯齿(13)相啮合；从而通过数个轴(21)带动数个传送齿轮(2)转动，并通过数个传送齿轮(2)与锯齿(13)之间的啮合实现对托盘(1)的传送；降低了基板传送过程中破片的风险，提升了产品良率与设备的综合效率。本发明的基板传送方法，降低了基板传送过程中破片的风险，提升了产品良率与设备的综合效率。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板传送装置，其特征在于，包括托盘(1)、位于所述托盘(1)下方分别设于数个轴(21)上的数个传送齿轮(2)、及分别位于所述数个传送齿轮(2)下方的数个升降杆(3)；所述托盘(1)上设有凹槽(11)，所述凹槽(11)底部设有数个通孔(12)，所述托盘(1)底部设有锯齿(13)；所述数个升降杆(3)可穿过所述数个通孔(12)上升与下降；所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)相啮合；从而通过所述数个轴(21)带动所述数个传送齿轮(2)转动，并通过所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)之间的啮合实现对所述托盘(1)的传送。
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