[发明专利]一种基于A相二氧化钒纳米线的温度控制开关及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201510885357.7 申请日: 2015-12-04
公开(公告)号: CN105449102A 公开(公告)日: 2016-03-30
发明(设计)人: 郑跃;王成迁;熊伟明;邵剑 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 广州市深研专利事务所 44229 代理人: 姜若天
地址: 510275 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于A相二氧化钒纳米线的温度控制开关及其制作方法。本发明的温度控制开关的温度传感材料为A相二氧化钒纳米线,宽度为大于220nm。本发明采用A相二氧化钒纳米线作为传感器制作材料,VO2(A)对环境无害,在电子器件中可以大量使用。本发明采用纳米线为结构单元,尺寸小,利于电子器件的小型化发展,并且VO2(A)相变是一个突变过程,这使得基于VO2(A)纳米线的温控开关响应迅速,利于实时监测。VO2(A)纳米线的相变温度在435K附近,这填补了较高温度的温控开关空白,利用其相变特性非常容易的实现了在较高温度下的温度控制,为物联网终端传感器奠定了良好的基础,可以大量的将其作为在这个温度附近的温度控制开关。
搜索关键词: 一种 基于 氧化 纳米 温度 控制 开关 及其 制作方法
【主权项】:
一种温度控制开关,包括温度传感材料,其特征在于,所述温度传感材料为A相二氧化钒纳米线。
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