[发明专利]一种基于A相二氧化钒纳米线的温度控制开关及其制作方法在审
申请号: | 201510885357.7 | 申请日: | 2015-12-04 |
公开(公告)号: | CN105449102A | 公开(公告)日: | 2016-03-30 |
发明(设计)人: | 郑跃;王成迁;熊伟明;邵剑 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 广州市深研专利事务所 44229 | 代理人: | 姜若天 |
地址: | 510275 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于A相二氧化钒纳米线的温度控制开关及其制作方法。本发明的温度控制开关的温度传感材料为A相二氧化钒纳米线,宽度为大于220nm。本发明采用A相二氧化钒纳米线作为传感器制作材料,VO2(A)对环境无害,在电子器件中可以大量使用。本发明采用纳米线为结构单元,尺寸小,利于电子器件的小型化发展,并且VO2(A)相变是一个突变过程,这使得基于VO2(A)纳米线的温控开关响应迅速,利于实时监测。VO2(A)纳米线的相变温度在435K附近,这填补了较高温度的温控开关空白,利用其相变特性非常容易的实现了在较高温度下的温度控制,为物联网终端传感器奠定了良好的基础,可以大量的将其作为在这个温度附近的温度控制开关。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 氧化 纳米 温度 控制 开关 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种温度控制开关,包括温度传感材料,其特征在于,所述温度传感材料为A相二氧化钒纳米线。
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