[发明专利]鳍状结构上的横向扩散晶体管在审
| 申请号： | 201510888048.5 | 申请日： | 2015-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN106847914A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 翁文寅;吴奕廷;黄正同;林育名;王荏滺 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种鳍状结构上的横向扩散晶体管，横向扩散晶体管包含一具有阶梯轮廓的栅极介电层，栅极介电层的厚度由横向扩散晶体管的源极向漏极的方向增厚，此外横向扩散晶体管的制作工艺可以和低压晶体管以及其它高压晶体管的制作工艺相容。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 横向 扩散 晶体管 | ||
【主权项】：
一种横向扩散晶体管，包含：基底；鳍状结构，接触并凸出于该基底；第一栅极电极，跨过该鳍状结构；第一源极，设置于该鳍状结构中并且位于该第一栅极电极的一侧；漏极，设置于该鳍状结构中并且位于该第一栅极电极的另一侧；以及第一栅极介电层，位于该鳍状结构和该第一栅极电极之间，其中该第一栅极介电层的厚度由该第一源极向该漏极的方向增厚。
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