[发明专利]用于硅片清洗机的上料装置

摘要

本发明涉及一种用于硅片清洗机的上料装置，包含机架、三级回流线、取料机构、移转机构、出料机构、触摸屏、电控系统，三级回流线、取料机构取水平分别固定在机架下方，移转机构固定在机架中部且在取料机构上方，出料机构在移转机构后方且固定在后面机架上，触摸屏固定在机架外侧面，电控系统安装在机架内上方，有益效果是，提高上料速度，增加产能，降低了破片率，降低了污染，避免了人为添加的新污染。

主权项

一种用于硅片清洗机的上料装置，包含机架（1）、三级回流线（2）、取料机构（3）、移转机构（4）、出料机构（5）、触摸屏（6）、电控系统（7），其特征在于：三级回流线（2）、取料机构（3）取水平分别固定在机架（1）下方，移转机构（4）固定在机架（1）中部且在取料机构（3）上方，出料机构（5）在移转机构（4）后方且固定在后面机架（1）上，触摸屏（6）固定在机架（1）外侧面，电控系统（7）安装在机架（1）内上方，所述的取料机构（3）包括提升气缸（3‑1）、摆杆（3‑2）、翻转篮横板（3‑3）、提升气缸连接块（3‑4）、翻转气缸（3‑5）、宽型气爪（3‑6）、单轴机器人（3‑7）、无杆气缸（3‑8）、导轨（3‑9），提升气缸（3‑1）、摆杆（3‑2）、翻转篮横板（3‑3）、提升气缸连接块（3‑4）、翻转气缸（3‑5）构成取料翻转部分固定于机架（1）底部,宽型气爪（3‑6）、单轴机器人（3‑7）、无杆气缸（3‑8）、导轨（3‑9）构成取料运送部分固定于取料翻转部分上方,提升气缸（3‑1）固定在提升气缸连接块（3‑4）上，翻转气缸（3‑5）一端连接在摆杆（3‑2）上，摆杆（3‑2）另一端连接在翻转篮横板（3‑3）上，导轨（3‑9）固定在机架（1）上，无杆气缸（3‑8）固定在导轨（3‑9）上方，单轴机器人（3‑7）固定在无杆气缸（3‑8）上，宽型气爪（3‑6）固定在单轴机器人（3‑7）下方；所述的移转机构（4）包括旋转台（4‑1）、耳环座垫块（4‑2）、A拉杆气缸（4‑3）、A摆杆（4‑4）、转移篮（4‑5）、旋转台基板（4‑6）、固定轴（4‑7）、B拉杆气缸（4‑8）、B摆杆（4‑9），旋转台（4‑1）固定在固定轴（4‑7）上，旋转台（4‑1）的轴插于旋转台基板（4‑6）通孔内可转动，耳环座垫块（4‑2）固定在旋转台（4‑1）上，A拉杆气缸（4‑3）一端与耳环座垫块（4‑2）固定、另一端与A摆杆（4‑4）固定，A摆杆（4‑4）与转移篮（4‑5）固定，转移篮（4‑5）支撑在旋转台基板（4‑6）上表面，旋转台基板（4‑6）下表面固定B拉杆气缸（4‑8），B拉杆气缸（4‑8）与B摆杆（4‑9）一端连接，B摆杆（4‑9）另一端与旋转台（4‑1）的轴外表面固定；所述的出料机构（5）包括、出料宽型气爪（5‑2）、出料导轨（5‑3）、出料平移电缸（5‑4）、出料A单轴机器人（5‑5）、步进马达单轴机器人（5‑6）、出料B单轴机器人（5‑7），出料宽型气爪（5‑2）固定于步进马达单轴机器人（5‑6）上，步进马达单轴机器人（5‑6）固定于出料平移电缸（5‑4）上，出料平移电缸（5‑4）可在出料导轨（5‑3）上平移，出料A单轴机器人（5‑5）、出料B单轴机器人（5‑7）平行固定在机架（1）内后面，出料导轨（5‑3）置于料A单轴机器人（5‑5）、出料B单轴机器人（5‑7）上，可自由前后移动；所述的电控系统（7）连接为触摸屏（6）与可编程控制器双向连接，启动/停止/复位开关、传感器与可编程控制器单向连接，可编程控制器与传送带电机、电磁阀、三色报警灯单向连接，电磁阀与气缸单向连接，五个驱动器输出端并接后与可编程控制器单向连接，可编程控制器与输出端并接后连接，每个驱动器与一个电机相连，触摸屏与驱动器输出端双向连接。