[发明专利]折射率分布测量方法和测量装置以及光学元件制造方法在审
申请号: | 201510893831.0 | 申请日: | 2015-12-08 |
公开(公告)号: | CN105675261A | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 杉本智洋 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 杨小明 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及折射率分布测量方法和测量装置以及光学元件制造方法。通过用形状和折射率已知的第一基准透镜、形状和折射率已知的第二基准透镜以及介质夹着测验透镜,形成测验单元。测量传播通过测验单元的光的波前,并且,通过使用第一基准透镜的形状和折射率、第二基准透镜的形状和折射率以及测验单元的测量的波前,计算测验透镜的折射率分布。 | ||
搜索关键词: | 折射率 分布 测量方法 测量 装置 以及 光学 元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种折射率分布测量方法,其特征在于包括:测量传播通过测验单元的光的波前,测验单元是通过用形状和折射率已知的第一基准透镜、形状和折射率已知的第二基准透镜、以及介质夹着测验透镜形成的;和通过使用第一基准透镜的形状和折射率、第二基准透镜的形状和折射率、以及测验单元的测量的波前,计算所述测验透镜的折射率分布。
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