[发明专利]提高鳍式场效应管性能的方法

摘要

一种提高鳍式场效应管性能的方法，包括：提供表面具有鳍部的衬底，衬底表面还形成有隔离层，隔离层覆盖鳍部部分侧壁表面，高于隔离层顶部的鳍部包括第一部分鳍部以及第二部分鳍部；对第一部分鳍部和第二部分鳍部进行非晶化离子注入，在第一部分鳍部侧壁表面形成第一非晶化层，在第二部分鳍部顶部表面和侧壁表面形成第二非晶化层，第二非晶化层的厚度大于第一非晶化层的厚度；对第一部分鳍部和第二部分鳍部进行氧化处理，在第二部分鳍部的顶部表面和侧壁表面、以及第一部分鳍部侧壁表面形成氧化层。本发明提高形成的氧化层厚度均匀性，特别是鳍部顶部拐角区域的氧化层性能得到提高，进而提高鳍式场效应管的可靠性和电学性能。

主权项

一种提高鳍式场效应管性能的方法，其特征在于，包括：提供衬底，所述衬底表面形成有分立的鳍部，所述衬底表面还形成有隔离层，所述隔离层覆盖鳍部部分侧壁表面，且所述隔离层顶部低于鳍部顶部，其中，高于所述隔离层顶部的鳍部包括第一部分鳍部以及位于第一部分鳍部顶部表面的第二部分鳍部；对所述第一部分鳍部和第二部分鳍部进行非晶化离子注入，在所述第一部分鳍部侧壁表面形成第一非晶化层，在所述第二部分鳍部顶部表面和侧壁表面形成第二非晶化层，且第二非晶化层的厚度大于第一非晶化层的厚度；在进行所述非晶化离子注入之后，对所述第一部分鳍部和第二部分鳍部进行氧化处理，在所述第二部分鳍部的顶部表面和侧壁表面、以及第一部分鳍部侧壁表面形成氧化层。