[发明专利]阵列基板、触控屏和触控显示装置及其制作方法

摘要

本发明提供一种阵列基板，其外围驱动电路的驱动晶体管为双栅极氧化物半导体晶体管，且该双栅极氧化物半导体晶体管的顶栅极与位于其显示区域的触控引线同层同材料形成，且顶栅极的材料为钼、铝、铜等导电性能较好而又不透明的金属或者其合金。一方面，在不增加额外的制程工艺及光罩的情况下，可以在外围驱动电路中形成双栅极氧化物半导体晶体管，实现控制氧化物半导体晶体管的阈值电压的目的；另一方面，使用不透光的金属层作为顶栅极来遮盖半导体沟道区域，可以减少光生电流，以防止光照对氧化物半导体晶体管的稳定性的影响。

主权项

1.一种阵列基板，包括显示区域与围绕所述显示区域的非显示区域，其特征在于，所述阵列基板还包括：触控电极块，位于所述显示区域；触控引线，与所述触控电极块电连接；外围驱动电路，位于所述非显示区域；所述外围驱动电路包括驱动晶体管，所述驱动晶体管的顶栅极与所述触控引线同层形成；所述阵列基板还包括衬底基板，所述驱动晶体管包括：依次形成于所述衬底基板上的底栅极、非显示区栅极绝缘层和第二有源层；第二源极和第二漏极，位于所述第二有源层远离所述衬底基板的一侧；非显示区钝化层，位于所述第二源极和第二漏极远离所述衬底基板的一侧；所述顶栅极位于所述非显示区钝化层远离所述衬底基板的一侧；所述阵列基板还包括位于所述显示区域的显示晶体管与覆盖所述显示晶体管的显示区钝化层，所述触控引线位于所述显示区钝化层远离所述衬底基板的一侧，所述显示晶体管包括依次形成于所述衬底基板上的栅极、显示区栅极绝缘层、第一有源层，以及第一源极和第一漏极，其中，所述栅极与所述底栅极同层形成，所述显示区栅极绝缘层与所述非显示区栅极绝缘层同层形成，所述第一有源层与所述第二有源层同层形成，所述第一源极和第一漏极与所述第二源极和第二漏极同层形成，所述显示区钝化层和非显示区钝化层同层形成。