[发明专利]一种复合抛光路径有效
申请号: | 201510900722.7 | 申请日: | 2015-12-09 |
公开(公告)号: | CN105550421B | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 刘健;王绍治;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人: | 朱红玲 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种复合抛光路径,涉及光学加工技术领域。本发明为了解决一般极坐标路径容易造成光学元件表面出现同心圆状中频误差的问题,通过在一般极坐标路径的基础上附加偏移项的方式构造了一种复合抛光路径,该复合抛光路径的偏移项的形状可通过周期函数λ(κ,θi)进行控制,偏移项的振幅可通过振幅控制函数ζ(b,θi)进行调节。该复合抛光路径具有良好的连续性及光滑性,可以提高极坐标路径在光学元件径向的去除能力,有利于抑制同心圆状中频波纹误差,进而提高加工效率以及加工精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 复合 抛光 路径 | ||
【主权项】:
1.复合抛光路径,该复合抛光路径由m个离散点构成,即{Pi(x,y),i=1…m},其特征是,所述m个离散点的计算方法是以极坐标路径为基础并附加法向偏移项获得,复合抛光路径的解析关系为:
式中,ρ(a,θi)为基准项的极坐标路径,θi为Pi点对应的极角,a为控制极坐标路径间距的路径距离控制系数;ζ(b,θi)为偏移项的振幅控制函数,b为基准振幅,λ(κ,θi)为偏移项的形状函数,κ为用于控制形状函数在圆周范围内出现的波数;所述极坐标路径为阿基米德螺旋线,即
所述振幅控制函数为分段函数,即
b为常数,θ0为常数取为2π。
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