[发明专利]一种高效太阳电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种高效太阳电池的制备方法，包括步骤：将原料硅片经过制绒、扩散、抛光、制作选择性发射极、镀减反射膜和丝网印刷、烧结，得到高效太阳电池。该方法采用的是先背抛光再制作选择性发射极的顺序将选择性发射极技术和背抛光技术结合，可节省对HNO3和HF大量的成本消耗，简单易行，相比IBC电池、异质结等高效电池，不仅可以减少工艺复杂性，还能进行大规模生产。该方法制备的太阳电池Uoc、Isc以及Eff得到了显著的提高。

主权项

1.一种高效太阳电池的制备方法，其特征在于，包括步骤：将原料硅片依次经过制绒、扩散、抛光、制作选择性发射极、镀减反射膜和丝网印刷、烧结，得到高效太阳电池；所述的扩散包括：在三氯氧磷气氛中对制绒后的硅片进行单面低方阻扩散，扩散后方阻控制在50Ω/□‑55Ω/□；所述的抛光包括：硅片的扩散面朝上放入60℃‑80℃碱溶液中进行背面抛光，清洗，烘干；抛光过程中，所述的碱溶液是质量百分浓度为10％‑35％的KOH水溶液或者质量百分浓度为10％‑35％的NaOH水溶液；所述背面抛光的时间为5.5min‑8.0min；抛光过程中，所述硅片以1.5m/min‑2.2m/min的速率通过60℃‑80℃碱溶液；所述的制作选择性发射极包括：a.在抛光后的硅片的电极栅线区域印刷油墨作为掩模，烘干；b.刻蚀：将硅片的扩散面朝上，在扩散面铺满水膜，放入第一HNO3/HF混合水溶液中对硅片背面进行第二次背面抛光，清洗；再将硅片放入第二HNO3/HF混合水溶液中对无油墨保护的发射极区域进行正刻蚀，形成浅扩散层，清洗；所述的第一HNO3/HF混合水溶液中HNO3的质量百分浓度为30％‑42％，HF的质量百分浓度为2％‑10％；所述的第二HNO3/HF混合水溶液中HNO3的质量百分浓度为10％‑26％，HF的质量百分浓度为2％‑12％；c.去油墨处理：将硅片依次经过20℃‑30℃粗碱溶液和20℃‑30℃精碱溶液将油墨洗掉，形成清晰的蜡印区域，清洗后将硅片放入HF水溶液中去除硅片上存在的氧化层，清洗，烘干，硅片上形成选择性发射极。