[发明专利]一种用于控制平面元件膜厚均匀性的镀膜工装在审
| 申请号： | 201510902154.4 | 申请日： | 2015-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN105420681A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 张立超;才玺坤;贺健康;时光;武潇野;梅林;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 李外 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于控制平面元件膜厚均匀性的镀膜工装，属于光学镀膜领域。解决现有的控制膜厚均匀性的方法需加入膜厚修正挡板的问题。该镀膜工装包括：附带主齿轮的主转动轴、附带行星盘上齿轮和行星盘下齿轮的行星盘转动轴、附带卫星盘齿轮的卫星盘转动轴、随卫星盘转动轴自转的元件承载架，所述的行星盘上齿轮与主齿轮咬合，行星盘下齿轮与卫星盘齿轮咬合。该工装通过采用行星式运动的方式，并且对各转动轴定位于最佳位置，通过将主转动轴与行星盘转动轴之间的距离、行星盘转动轴和卫星盘转动轴之间的距离设置为理论模拟或实验得到的满足膜厚均匀性控制要求的最佳距离，在无膜厚均匀性挡板的情况下，实现对膜厚均匀性的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 控制 平面 元件 均匀 镀膜 工装 | ||
【主权项】：
一种用于控制平面元件膜厚均匀性的镀膜工装，其特征在于，包括：附带主齿轮(2)的主转动轴(1)、附带行星盘上齿轮(4‑1)和行星盘下齿轮(4‑2)的行星盘转动轴(3)、附带卫星盘齿轮(6)的卫星盘转动轴(5)、随卫星盘转动轴(5)自转的元件承载架(4)，其中元件承载架(4)用于承载元件；所述的行星盘上齿轮(4‑1)与主齿轮(2)咬合，行星盘下齿轮(4‑1)与卫星盘齿轮(6)咬合。
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