[发明专利]小范围激光平动扫描镜装置在审
| 申请号： | 201510905744.2 | 申请日： | 2015-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN105467583A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张来峰;范立成;刘思奇 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02B26/12 | 分类号： | G02B26/12 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 杨明 |
| 地址： | 215100 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种小范围激光平动扫描镜装置，包括外壳壳体、X轴平移台、Y轴平移台、Z轴平移台和聚焦镜，Z轴平移台上下移动安装在外壳壳体上，X、Y、Z轴平移台成串联连接，X轴平移台前后移动安装在Z轴平移台上，Y轴平移台左右移动安装在X轴平移台上，X、Y、Z轴平移台上分别固定安装有X、Y、Z反射镜，X、Y、Z反射镜分别与X、Y、Z轴呈45度角，X反射镜与Z反射镜相对设置且位于同一水平线上，Y反射镜与X反射镜相对设置且位于同一水平线上，聚焦镜水平安装在Y轴平移台上，聚焦镜位于Y反射镜的正下方。该装置能够避免出现枕形畸变以及离焦误差，聚焦斑点大小稳定，控制方便，能够实现小范围的激光精准扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 范围 激光 平动 扫描 装置 | ||
【主权项】：
一种小范围激光平动扫描镜装置，其特征在于：包括外壳壳体、X轴平移台、Y轴平移台、Z轴平移台和聚焦镜，所述Z轴平移台上下移动安装在所述外壳壳体上，所述X、Y、Z轴平移台成串联连接，所述X轴平移台前后移动安装在所述Z轴平移台上，所述Y轴平移台左右移动安装在所述X轴平移台上，所述X、Y、Z轴平移台上分别固定安装有X、Y、Z反射镜，所述X、Y、Z反射镜分别与X、Y、Z轴呈45度角，所述X反射镜与Z反射镜相对设置且位于同一水平线上，所述Y反射镜与X反射镜相对设置且位于同一水平线上，所述聚焦镜水平安装在所述Y轴平移台上，所述聚焦镜位于所述Y反射镜的正下方。
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