[发明专利]一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺在审
| 申请号： | 201510911553.7 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN105543979A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 孙海平;黄石明;奚斌;王明明;刘仁中;张斌 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，包括步骤（a）制绒液配置；（b）制绒：将硅片放置于制绒液中；（c）碱洗；（d）酸洗；（e）水洗；所述步骤（b）中所述的制绒为将硅片放入含Ni 2+离子的HF-H2O2或HNO3-HF混合溶液中进行反应制得绒面，反应温度为30℃-90℃，反应时间为5-30min；本发明采用直接对硅片进行制绒的方式，简化生产步骤的同时也可有效降低多晶硅片的制绒成本，提高产品的市场竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 催化 金刚 切割 多晶 硅片 湿法 工艺 | ||
【主权项】：
一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺，其特征在于：包括步骤（a）制绒液配置；（b）制绒：将硅片放置于制绒液中；（c）碱洗；（d）酸洗；（e）水洗； 所述步骤（b）中所述的制绒为将硅片放入含Cu 2+离子的HF‑H2O2或HNO3‑HF混合溶液中进行反应制得绒面，反应温度为30℃‑90℃，反应时间为5‑30min。
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