[发明专利]一种减压扩散炉炉口冷却密封装置有效

专利信息
申请号: 201510917395.6 申请日: 2015-12-14
公开(公告)号: CN105543976B 公开(公告)日: 2018-07-24
发明(设计)人: 张宝锋;禹庆荣;苏卫中;刘良玉;杨彬 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: C30B31/06 分类号: C30B31/06
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 周长清
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种减压扩散炉炉口冷却密封装置,所述减压扩散炉反应管管口安装石英炉门,所述石英炉门内端面装设密封圈,所述石英炉门通过密封圈与反应管管口的安装法兰内端面密封抵接,所述密封圈的周边设有对密封圈进行局部强制冷却的强冷装置,所述强冷装置包括对石英炉门和安装法兰外周圆、安装法兰外端面进行局部强冷的气冷器组件,以及对石英炉门外端面进行局部强冷的金属炉门组件。本发明具有能减缓了密封圈老化速度、提高反应室内的密封可靠性等优点。
搜索关键词: 一种 减压 扩散 炉炉口 冷却 密封 装置
【主权项】:
1.一种减压扩散炉炉口冷却密封装置,所述减压扩散炉反应管(1)管口安装石英炉门(2),所述石英炉门(2)内端面装设密封圈(20),所述石英炉门(2)通过密封圈(20)与反应管(1)管口的安装法兰(10)内端面密封抵接,其特征在于:所述密封圈(20)的周边设有对密封圈(20)进行局部强制冷却的强冷装置,所述强冷装置包括对石英炉门(2)和安装法兰(10)外周圆、安装法兰(10)外端面进行局部强冷的气冷器组件(4),以及对石英炉门(2)外端面进行局部强冷的金属炉门组件,所述气冷器组件(4)和所述金属炉门组件喷出冷却气体完成局部强制冷却。
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