[发明专利]一种超小尺寸的绑定焊盘的制作方法在审
申请号: | 201510925059.6 | 申请日: | 2015-12-14 |
公开(公告)号: | CN105405770A | 公开(公告)日: | 2016-03-16 |
发明(设计)人: | 韩启龙;张领;刘克敢 | 申请(专利权)人: | 深圳崇达多层线路板有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 冯筠 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新桥横岗下工*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及电路板生产技术领域,具体为一种超小尺寸的绑定焊盘的制作方法。本发明通过在制作过程中严格控制多层板表层铜的厚度,可降低蚀刻难度,并且对绑定PAD作适当的补偿,可更好的控制蚀刻精度,进一步降低了制作超小尺寸和公差的绑定PAD的难度。另外,本发明通过控制外层蚀刻的蚀刻参数,再配合铜厚及补偿的控制,可显著降低超小尺寸和公差的绑定PAD的制作难度,公差可控制在±0.6mil,报废率可以低至4.8%。通过本发明方法制作超小尺寸和公差的绑定PAD,不仅报废率低,且效率高,降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 绑定 制作方法 | ||
【主权项】:
一种超小尺寸的绑定焊盘的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:S1多层板:根据现有技术通过半固化片将内层芯板与外层铜箔压合为一体,并根据设计资料钻孔,形成多层板;S2沉铜和全板电镀:先将多层板上的外层铜箔的铜厚减薄至8‑10μm;然后对多层板进行沉铜和全板电镀处理,并控制多层板的表层镀铜的厚度为5‑8μm;S3图形转移:接着通过正片工艺将菲林上的外层线路图形转移到多层板的表层上,所述外层线路图形包括绑定PAD图形;S4图形电镀:在多层板上电镀铜,控制外层线路图形处的表层铜的厚度为25‑32μm;然后在多层板上电镀锡;S5外层线路:对多层板依次进行褪膜、蚀刻和褪锡处理,由外层线路图形形成外层线路,由所述的绑定PAD图形形成绑定PAD。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造