[发明专利]一种超小尺寸的绑定焊盘的制作方法在审

专利信息
申请号: 201510925059.6 申请日: 2015-12-14
公开(公告)号: CN105405770A 公开(公告)日: 2016-03-16
发明(设计)人: 韩启龙;张领;刘克敢 申请(专利权)人: 深圳崇达多层线路板有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 深圳市精英专利事务所 44242 代理人: 冯筠
地址: 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新桥横岗下工*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及电路板生产技术领域,具体为一种超小尺寸的绑定焊盘的制作方法。本发明通过在制作过程中严格控制多层板表层铜的厚度,可降低蚀刻难度,并且对绑定PAD作适当的补偿,可更好的控制蚀刻精度,进一步降低了制作超小尺寸和公差的绑定PAD的难度。另外,本发明通过控制外层蚀刻的蚀刻参数,再配合铜厚及补偿的控制,可显著降低超小尺寸和公差的绑定PAD的制作难度,公差可控制在±0.6mil,报废率可以低至4.8%。通过本发明方法制作超小尺寸和公差的绑定PAD,不仅报废率低,且效率高,降低了生产成本。
搜索关键词: 一种 尺寸 绑定 制作方法
【主权项】:
一种超小尺寸的绑定焊盘的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:S1多层板:根据现有技术通过半固化片将内层芯板与外层铜箔压合为一体,并根据设计资料钻孔,形成多层板;S2沉铜和全板电镀:先将多层板上的外层铜箔的铜厚减薄至8‑10μm;然后对多层板进行沉铜和全板电镀处理,并控制多层板的表层镀铜的厚度为5‑8μm;S3图形转移:接着通过正片工艺将菲林上的外层线路图形转移到多层板的表层上,所述外层线路图形包括绑定PAD图形;S4图形电镀:在多层板上电镀铜,控制外层线路图形处的表层铜的厚度为25‑32μm;然后在多层板上电镀锡;S5外层线路:对多层板依次进行褪膜、蚀刻和褪锡处理,由外层线路图形形成外层线路,由所述的绑定PAD图形形成绑定PAD。
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