[发明专利]可靠且强健的电接触件有效
| 申请号： | 201510929195.2 | 申请日： | 2015-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN105702653B | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | H·伯克 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技美国公司 |
| 主分类号： | H01L23/488 | 分类号： | H01L23/488;H01L21/60;H01L29/78 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;董典红 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及可靠且强健的电接触件。在一个实施方式中，可靠且强健的电接触件包括从位于有源裸片的表面上方的第一金属层图案化而成的接触焊盘以及位于接触焊盘上方的多个电介质岛。电介质岛通过形成在电介质岛之间和形成在电介质岛上方的第二金属层的对应部分而相互隔开。接触焊盘、电介质岛和第二金属层提供可靠且强健的电接触件。 | ||
| 搜索关键词： | 可靠 强健 接触 | ||
【主权项】：
一种可靠且强健的电接触件，包括：接触焊盘，从位于有源裸片的表面上方的第一金属层图案化而成；多个电介质岛，位于所述接触焊盘上方，所述多个电介质岛通过形成在所述多个电介质岛之间和形成在所述多个电介质岛上方的第二金属层的对应部分而相互隔开；其中，所述接触焊盘、所述多个电介质岛和所述第二金属层提供所述可靠且强健的电接触件。
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