[发明专利]一种太赫兹激光功率计的校准方法

摘要

本发明公开了一种太赫兹激光功率计的校准方法，包括以下步骤步骤一使用可调式直流稳压电源代替热电堆探测器，为太赫兹激光功率计提供稳定的可调谐输入电压信号，记录太赫兹激光功率计的输入电压以及对应的示值电压；步骤二计算太赫兹激光功率计输入电压与示值电压之间的线性关系；步骤三测试热电堆探测器在太赫兹波段的绝对光谱响应度；步骤四根据步骤二中太赫兹激光功率计的输入电压与示值电压的线性关系，以及步骤三中热电堆探测器在太赫兹波段的绝对光谱响应度，计算太赫兹激光功率计测量的功率值。本发明提高了校准效率，减小了校准不确定度。

主权项

一种太赫兹激光功率计的校准方法，其特征是，包括以下步骤：步骤一：把热电堆探测器与太赫兹激光功率计分离，将可调式直流稳压电源接入太赫兹激光功率计的信号输入端，使用可调式直流稳压电源代替热电堆探测器，为太赫兹激光功率计提供稳定的可调谐输入电压信号，记录太赫兹激光功率计的输入电压以及对应的示值电压；步骤二：计算可调式直流稳压电源提供给太赫兹激光功率计的输入电压与太赫兹激光功率计示值电压之间的线性关系；步骤三：测试热电堆探测器在太赫兹波段的绝对光谱响应度；步骤四：把热电堆探测器接入太赫兹激光功率计，根据步骤二中太赫兹激光功率计的输入电压与示值电压之间的线性关系，以及步骤三中热电堆探测器在太赫兹波段的绝对光谱响应度，计算太赫兹激光功率计测量的示值电压对应的功率值；所述步骤二中，使用最小二乘法计算可调式直流稳压电源提供给太赫兹激光功率计的输入电压与太赫兹激光功率计示值电压之间的线性关系：V入＝a·V示+b  (1)式中，V入、V示分别是可调式直流稳压电源提供给太赫兹激光功率计的输入电压和太赫兹激光功率计的示值电压，a和b是拟合系数；所述步骤三中，测试热电堆探测器在太赫兹波段的绝对光谱响应度的具体过程为：测试热电堆探测器的吸收材料在太赫兹波段的反射率R(λ)，测量不确定度是0.5％，置信因子k取1，则它的标准不确定度是0.5％；测试热电堆探测器的吸收材料在可见或近红外波长点的反射率R0，测量不确定度是0.3％，置信因子k取2，则它的标准不确定度是0.15％；测试热电堆探测器在可见或近红外波长点的绝对响应度S0，测量不确定度是0.05％，置信因子k取2，则它的标准不确定度是0.025％。