[发明专利]固体摄像装置及其制造方法以及电子设备

摘要

本发明涉及一种固体摄像装置及其制造方法和电子设备。所述固体摄像装置包括半导体基板，其具有作为感光侧的第一侧以及与所述第一侧相对的第二侧；多个光电转换部，其设置在所述半导体基板中；像素分离部，其设置在所述多个光电转换部中的光电转换部之间；布线层，其设置为邻近于所述半导体基板的所述第二侧；氧化硅层，其设置为邻近于所述半导体基板的所述第一侧；遮光部，其设置为对应于所述像素分离部；以及滤色器，其中，在横截面上，所述遮光部设置在所述滤色器和所述氧化硅层之间，所述像素分离部包括第一材料和第二材料。本发明能够提高拍摄图像的质量等。

主权项

1.一种摄像装置，其包括：半导体基板，其具有作为感光侧的第一侧以及与所述第一侧相对的第二侧，其中，所述半导体基板包括：多个光电转换部，沟槽，其设置在相邻光电转换部之间；遮光部，其设置为对应于所述沟槽；滤色器；以及布线层，其邻近所述半导体基板的所述第二侧，其中，在横截面上，所述遮光部设置在所述滤色器和所述半导体基板的所述第一侧之间，所述沟槽包括像素分离部，所述像素分离部包括第一材料，并且所述沟槽还包括第二材料，所述像素分离部位于所述半导体基板的所述第一侧中，在所述沟槽中，所述第一材料被所述第二材料覆盖，所述第一材料选自由SiN、SiO₂、SiCN和SiOC组成的组，并且所述第二材料包括选自由以下元素的氧化物组成的组的至少一种材料：铪、锆、铝、钽、钛、镁、钇、镧。