[发明专利]一种用于氧化镁烧结体靶材的组合式坩埚在审
申请号: | 201510933979.2 | 申请日: | 2015-12-15 |
公开(公告)号: | CN105486083A | 公开(公告)日: | 2016-04-13 |
发明(设计)人: | 曾卫军 | 申请(专利权)人: | 营口镁质材料研究院有限公司 |
主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 115000 辽宁省营口市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于氧化镁烧结体靶材的组合式坩埚,由两部分组成,分别是圆筒形坩埚壁(1)和坩埚底座(2);一个坩埚底座(2)可以配合一个至多个圆筒形坩埚壁(1)使用。其中,所述圆筒形坩埚壁(1)的上下接口较坩埚壁中心存在偏移,结合时留有余量。所述坩埚底(2)做以凸台的形式设置接口。本发明具备多段坩埚壁(1)和坩埚底座(2),若有损坏情况发生时,只需报废局部即可;而且在生产过程中,不需要复杂的模具,为成型和脱模也提供了方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 氧化镁 烧结 体靶材 组合式 坩埚 | ||
【主权项】:
一种用于氧化镁烧结体靶材的组合式坩埚,由圆筒形坩埚壁(1)和坩埚底座(2)两部分组成,其特征在于,一个坩埚底座(2)可以配合一个至多个圆筒形坩埚壁(1)使用。
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