[发明专利]一种真空玻璃等离子体清洗方法和设备在审
| 申请号： | 201510935112.0 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN105436180A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 赵雁;李彦兵;王章生 | 申请（专利权）人： | 洛阳兰迪玻璃机器股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 471000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了真空玻璃等离子体清洗方法，该方法包括以下步骤：1）、将与激发电源相连的两个激发电极作用在真空玻璃上；2）、通过真空玻璃的抽气口将真空腔抽至设定压力；3）、打开激发电源，使产生的等离子体轰击玻璃内表面和封装层内表面，使吸附在其上的有机污染物脱离出来；4）、将步骤3）中轰击产生的气体抽走；5）、重复2-4的步骤；6）、持续抽真空到设定真空值后，对抽气口进行密封，完成真空玻璃制造。本发明提供的清洗方法，不仅加快了真空玻璃抽真空速度，提升了生产效率，同时，提高了真空玻璃真空度，延长其使用寿命。本发明还包括真空玻璃等离子体清洗设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 玻璃 等离子体 清洗 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种真空玻璃等离子体清洗方法，用于去除封装后的真空玻璃腔体内的有机污染物，所述真空玻璃的至少一片玻璃基板上有抽气口，包括以下步骤：1）、将与激发电源相连的两个激发电极作用在真空玻璃上；2）、通过真空玻璃的抽气口将真空腔抽至设定压力；3）、打开激发电源，电离真空腔内的稀薄气体，使产生的等离子体轰击玻璃内表面和封装层内表面，使其上附着的有机污染物脱离出来；4）、将步骤3）中轰击产生的气体抽走；5）、重复2‑4的步骤；6）、持续抽真空到设定真空值后，对抽气口进行密封，完成真空玻璃制造。
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