[发明专利]等离子体点燃和维持的方法及装置在审
| 申请号： | 201510937447.6 | 申请日： | 2011-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN105578700A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 尼尔·马丁·保罗·本杰明;安德莱斯·费舍 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于产生等离子体的装置，其包括等离子体产生容器以及线圈，所述线圈具有线圈长度以及第一组部分封闭的、纵向取向的导电(PELOC)指状件和第二组PELOC指状件。PELOC指状件组沿着容器的纵轴线取向，使得每个PELOC指状件组部分地封闭容器的周边。两组PELOC指状件被定向为指状件尖端朝向指状件尖端并且相隔组间距离，该组间距离小于线圈长度。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 点燃 维持 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种装置，其包括：第一梳状结构，其被配置为部分地包围用于产生等离子体的容器的圆周，所述第一梳状结构具有第一端部和第二端部，使得在所述第一端部与所述第二端部之间限定出第一间隔距离，所述第一梳状结构限定出垂直于所述容器的圆周取向的第一多个指状件，并且其中，所述第一梳状结构被配置为连接至线圈的第一端部，所述线圈被配置为接收RF驱动器信号以在所述容器中产生等离子体；以及第二梳状结构，其被配置为部分地包围所述容器的圆周，所述第二梳状结构具有第一端部和第二端部，使得在所述第二梳状结构的所述第一端部与所述第二端部之间限定出第二间隔距离，所述第二梳状结构限定出垂直于所述容器的圆周取向的第二多个指状件，并且其中，所述第二梳状结构被配置为连接至所述线圈的第二端部；其中，所述第一梳状结构的所述第一多个指状件进一步被定向为面向所述第二梳状结构的所述第二多个指状件；其中，在所述第一多个指状件和所述第二多个指状件的端部之间限定出第三间隔距离。
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