[发明专利]一种钼铌合金溅射靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种钼铌合金溅射靶材的制备方法，该方法为：一、将钼粉和铌粉置于混料机的混料罐中搅拌混合均匀，得到混合粉末；二、对混合粉末进行冷等静压，得到板坯，然后对将述板坯在真空或者氢气气氛保护条件下进行预烧结处理，得到钼铌合金预制坯料；三、将钼铌合金预制坯料表面车铣加工，然后进行热等静压，得到钼铌合金制件；四、对钼铌合金制件进行机械加工和表面磨削加工，得到钼铌合金溅射靶材。本发明制备过程简单、节约原料，且制备过程能够减少杂质元素的引入，制备得到的钼铌合金溅射靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小，理论密度可达到99％以上，氧质量含量低于500ppm，能够很好的满足作为溅射靶材的要求。

主权项

一种钼铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、将钼粉和铌粉置于混料机的混料罐中，将所述混料罐密封后抽真空，然后在氩气保护条件下将所述钼粉和铌粉搅拌混合均匀，得到混合粉末；所述钼粉与铌粉的质量比为(9～19)：1；步骤二、对步骤一中所述混合粉末进行冷等静压，得到板坯，然后将所述板坯在真空或者氢气气氛保护条件下进行预烧结处理，得到钼铌合金预制坯料；所述冷等静压的压力为100MPa～200MPa，保压时间为5min～10min，所述预烧结处理的具体过程为：在升温速率为2.5℃/min～4℃/min的条件下升温至800℃～1000℃保温60min～120min，然后在升温速率为1℃/min～2.5℃/min的条件下升温至1200℃～1500℃保温120min～180min，接着在升温速率为1℃/min～2.5℃/min的条件下升温至1600℃～1700℃保温120min～180min；步骤三、将步骤二中所述钼铌合金预制坯料车铣加工至其表面粗糙度为1.0μm～3.0μm，然后对车铣加工后的钼铌合金预制坯料进行热等静压，得到钼铌合金制件；所述热等静压的压力为100MPa～200MPa，温度为1200℃～1500℃，保温保压时间为1h～5h；步骤四、对步骤三中所述钼铌合金制件进行机械加工和表面磨削加工，得到钼铌合金溅射靶材。