[发明专利]冷阱及冷阱的控制方法有效
| 申请号： | 201510939175.3 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN105709452B | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 谷津贵裕 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B01D8/00 | 分类号： | B01D8/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 温旭,郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够适当地冷却冷板的冷阱及冷阱的控制方法。冷阱(14)具备冷板；制冷机(24)，冷却冷板；冷却台温度控制部(110)，确定对制冷机(24)的控制输入，以使制冷机(24)的制冷机冷却台冷却至目标温度；热输入推断部(112)，从通过冷却台温度控制部(110)确定的对制冷机(24)的控制输入推断出向冷板的热输入增加；以及目标温度调整部(114)，根据通过热输入推断部(112)推断出的热输入増加来调整目标温度。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种冷阱，其用于对具有主真空泵的真空容器进行排气，该冷阱的特征在于，具备：冷板，配置于将所述真空容器连接于所述主真空泵的排气导管内部，或者配置于所述真空容器内部；单级制冷机，具备结构上与所述冷板连接从而与所述冷板热连接的制冷机冷却台；冷却台温度控制部，确定对所述单级制冷机的控制输入，以使所述制冷机冷却台冷却至目标温度；热输入推断部，从通过所述冷却台温度控制部确定的对所述单级制冷机的控制输入推断出向所述冷板的热输入增加；以及目标温度调整部，根据所述热输入推断部所推断出的热输入増加，降低所述目标温度，对所述单级制冷机的控制输入为制冷机的运行频率或加热器的输出。
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