[发明专利]一种包覆纳米颗粒的原子层沉积装置及其方法

摘要

本发明公开了一种包覆纳米颗粒的原子层沉积装置及其方法，其中该装置包括电机、反应腔、夹持器和输气管路，电机与夹持器相连，用于带动夹持器旋转；夹持器位于反应腔内部，用于承载纳米颗粒；输气管路用于向反应腔中输入反应气体或载气；反应腔周围设置有加热装置，使得反应气体与纳米颗粒反应从而在纳米颗粒上沉积包覆原子层；该反应腔还与真空泵相连，真空泵用于对反应腔抽真空。本发明能够有效克服纳米颗粒基底的团聚现象，在纳米颗粒表面沉积原子层、包覆纳米颗粒，提高包覆率和均匀性，并提高粉体表面包覆的效率。

主权项

一种包覆纳米颗粒的原子层沉积装置，其特征在于，包括电机(2)、反应腔、夹持器(5)和输气管路，其中：所述电机(2)与所述夹持器(5)相连，用于带动所述夹持器(5)旋转；所述夹持器(5)位于所述反应腔内部，用于承载纳米颗粒；所述输气管路用于向所述反应腔中输入反应气体或载气；所述反应腔周围设置有加热装置，使得所述反应气体与所述纳米颗粒反应从而在所述纳米颗粒上沉积包覆原子层；该反应腔还与真空泵(7)相连，所述真空泵(7)用于对所述反应腔抽真空。