[发明专利]水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器在审

专利信息
申请号: 201510946391.0 申请日: 2015-12-16
公开(公告)号: CN105405986A 公开(公告)日: 2016-03-16
发明(设计)人: 张玉春;王平;阮国宇 申请(专利权)人: 张家港康得新光电材料有限公司
主分类号: H01L51/52 分类号: H01L51/52;H01L51/54;H01L51/56;H01L27/32
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 赵囡囡;吴贵明
地址: 215634 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请提供了一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器。该水汽阻隔膜包括衬底与设置在衬底表面的水汽阻隔层,水汽阻隔层包括硅氧化物与铝氧化物,且硅氧化物与铝氧化物的重量比在1:1~7:3之间,水汽阻隔膜的厚度在20~200nm之间。该水汽阻隔膜能够较好地阻挡外界液体与气体的侵入,进而提高了使用该水汽阻隔膜的器件的寿命。
搜索关键词: 水汽 阻隔 制备 方法 包含 显示器
【主权项】:
一种水汽阻隔膜,包括衬底(10)与设置在所述衬底(10)表面的水汽阻隔层(20),其特征在于,所述水汽阻隔层(20)包括硅氧化物与铝氧化物,且所述硅氧化物与所述铝氧化物的重量比在1:1~7:3之间,所述水汽阻隔膜的厚度在20~200nm之间。
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