[发明专利]一种引线楔焊微小力输出机构的工作方法在审
申请号: | 201510950553.8 | 申请日: | 2015-12-18 |
公开(公告)号: | CN105590874A | 公开(公告)日: | 2016-05-18 |
发明(设计)人: | 崔海龙;郝艳鹏;马生生;刘峰;张永聪 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603;H01L21/607 |
代理公司: | 山西科贝律师事务所 14106 | 代理人: | 陈奇 |
地址: | 030024 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明公开了一种引线楔焊微小力输出机构的工作方法,解决了在引线楔焊中存在的微小力输出稳定性差和控制调节难的问题。包括微小力执行机构安装板(1)、音圈电机、工业控制机和引线键合超声换能器,在引线键合超声换能器的右端设置有压电陶瓷(10),在引线键合超声换能器的左端连接有劈刀(11),音圈电机定子(6)是倒置地固定吊接在微小力执行机构安装板(1)的下端面上的,弹性变形矩形块(2)连接在微小力执行机构安装板与换能器安装套(9)之间,音圈电机动子(7)的顶端面与换能器安装套的顶端面顶接,压电陶瓷、音圈电机和位置传感器(8)分别与工业控制机电连接在一起。本发明在整个压力行程内,压力控制稳定可靠,重复性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 引线 楔焊 微小 输出 机构 工作 方法 | ||
【主权项】:
一种引线楔焊微小力输出机构的工作方法,包括以下步骤:第一步、在由铍青铜材料制成的弹性变形矩形块(2)中设置水平方向的工字型凹槽通孔(14),在弹性变形矩形块(2)上设置沿上下垂直方向的音圈电机通过孔(3),在弹性变形矩形块(2)的左端设置左螺纹孔(4),在弹性变形矩形块(2)的右端设置右螺纹孔(5),音圈电机定子(6)倒置固定吊接在微小力执行机构安装板(1)的下端面上,左连接螺栓通过弹性变形矩形块(2 )的左端设置的左螺纹孔(4)将弹性变形矩形块(2 )的左端与微小力执行机构安装板(1)的下端面连接,弹性变形矩形块(2)的右端通过右螺纹孔(5)中的螺栓与换能器安装套(9)固定连接,在换能器安装套(9)中设置有引线键合超声换能器,在弹性变形矩形块(2)上设置的沿上下垂直方向的音圈电机通过孔(3)中设置有音圈电机定子(6),音圈电机动子(7)的顶端面与换能器安装套(9)的顶端面顶接在一起,在换能器安装套(9)的右侧设置有位置测量龙门架(13),位置测量龙门架(13)是通过龙门架连接螺栓(12)与换能器安装套(9)固定连接在一起,在位置测量龙门架(13)的顶梁下方的微小力执行机构安装板(1)上设置有位置传感器(8),压电陶瓷(10)、音圈电机和位置传感器(8)分别与工控机电连接;第二步、工控机向音圈电机发出启动指令,音圈电机动子(7)向下伸出,带动换能器安装套(9)向下运动,动换能器安装套(9)带动弹性变形矩形块(2)的右端向下运动,使弹性变形矩形块(2)中的工字型槽(14)产生变形,弹性变形矩形块(2)对换能器安装套(9)产生一个向上的牵引力,与换能器安装套(9)受到音圈电机动子(7)向下的压力达到平衡,实现了微小力的精确稳定输出;第三步、在换能器安装套(9)向下运动同时,位置传感器(8)测得位置测量龙门架(13)的向下位移量并传送给工控机,若该位移量超过预先设定的阈值,则工控机发出报警信号。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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