[发明专利]一种基于行星流化的粉体原子层沉积装置

摘要

本发明公开了一种基于行星流化的粉体原子层沉积装置，包括电机、反应腔、行星架、夹持器和输气管路，其中，电机与行星架相连，行星架上安装有中心轮和若干个行星轮；电机用于带动中心轮和行星轮旋转；夹持器位于反应腔内部，用于承载粉体；该夹持器还与行星轮相连，在行星轮的带动下旋转；输气管路用于向反应腔中输入反应气体或载气。本发明能够对夹持器内的粉体颗粒提供离心流化作用，同时结合轴向的气流流化作用，克服了离心流化床沿轴向方向分布不均匀的状况以及改善了传统垂直流化床剪切力过小的特点，能有效提高粉体包覆率和均匀性，一次性能够对大量粉体进行包覆，提高粉体包覆效率。

主权项

一种基于行星流化的粉体原子层沉积装置，其特征在于，包括电机(2)、反应腔、行星架(13)、夹持器(6)和输气管路，其中，所述电机(2)与所述行星架(13)相连，所述行星架(13)上安装有中心轮(8)和若干个行星轮(9)，所述中心轮(8)位于所述行星架(13)的中心线上，所述行星轮(9)与所述中心轮(8)啮合；所述电机(2)用于带动所述中心轮(8)和所述行星轮(9)旋转；所述夹持器(6)位于所述反应腔内部，用于承载粉体；该夹持器(6)还与所述行星轮(9)相连，在所述行星轮(9)的带动下旋转；所述输气管路用于向所述反应腔中输入反应气体或载气；所述反应腔周围设置有加热装置，使得所述反应气体与所述粉体反应从而在所述粉体上沉积包覆原子层；该反应腔还与真空泵(7)相连，所述真空泵(7)用于对所述反应腔抽真空。