[发明专利]声波器件

摘要

一种声波器件包括：压电衬底；以及IDT，该IDT形成在所述压电衬底上，其中各向异性系数是正的，所述IDT的电极指彼此交叠所在的交叠区域包括中心区域和边缘区域，所述中心区域和所述边缘区域中的所述电极指被连续地形成，所述边缘区域中的所述电极指相对于所述中心区域中的所述电极指倾斜，使得在所述边缘区域中的所述电极指的宽度方向上的节距大于在所述中心区域中的所述电极指的宽度方向上的节距，并且所述中心区域中的所述宽度方向与所述压电衬底的晶轴取向之间的角度小于所述边缘区域中的所述宽度方向与所述晶轴取向之间的角度。

主权项

1.一种声波器件，该声波器件包括：压电衬底；以及叉指换能器IDT，该IDT形成在所述压电衬底上，包括电极指并且激发声波，其中，各向异性系数是正的，所述IDT的所述电极指彼此交叠的交叠区域包括在所述电极指的延伸方向上位于所述交叠区域的中心的中心区域以及在所述延伸方向上位于所述中心区域的两侧的边缘区域，所述中心区域中的所述电极指和所述边缘区域中的所述电极指被连续地形成，所述边缘区域中的所述电极指相对于所述中心区域中的所述电极指倾斜，使得所述边缘区域中的所述电极指的宽度方向上的节距大于所述中心区域中的所述电极指的宽度方向上的节距，并且所述中心区域中的所述电极指的宽度方向与所述压电衬底的晶轴取向之间的角度小于所述边缘区域中的所述电极指的宽度方向与所述晶轴取向之间的角度。