[发明专利]光学波前量测装置与方法有效
| 申请号： | 201510956066.2 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN106768394B | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 梁振升 | 申请（专利权）人： | 九骅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 汤在彦 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学波前量测装置与方法，依据该光学波前量测装置，光学空间调制器产生相异的多个通孔，使多个光线通过该多个通孔后，形成多个光型。该多个光型通过待测镜片与无穷物镜模组，并且调整无穷物镜模组与待测镜片的距离，使近似平行光的该多个光型进入波前感应装置。波前感应装置依据该多个光型，撷取多个波前感应图像(WS图像)，其中该多个WS图像不具有光点重叠现象。计算机依据一演算法拼接该多个WS图像，以求得一波前变化信息，并依据该波前变化信息重建一波前。通过实施本发明，能够解决高度像差下的横向位移所产生的光点重叠现象的问题，适合于检测非球面镜片。 | ||
| 搜索关键词： | 量测装置 光学波 波前变化 感应装置 重叠现象 图像 镜片 光点 模组 通孔 物镜 光学空间调制器 非球面镜片 近似平行光 感应图像 光线通过 横向位移 信息重建 演算法 相异 像差 拼接 撷取 计算机 检测 | ||
【主权项】：
1.一种光学波前量测装置，用以检测一待测镜片，其特征在于，该光学波前量测装置包括：一光学空间调制器、一波前感应装置、一无穷物镜模组及一计算机，其中该光学空间调制器，产生相异的多个通孔，使多个光线通过该多个通孔后，形成多个光型，该无穷物镜模组，针对该多个光型调整该无穷物镜模组与该待测镜片的距离，使该多个光型通过该待测镜片与该无穷物镜模组，并形成近似平行光的该多个光型后，进入该波前感应装置，该波前感应装置，依据该多个光型，撷取多个波前感应WS图像，其中该多个WS图像不具有光点重叠现象，该计算机，依据一演算法拼接该多个WS图像，以求得一波前变化信息，并依据该波前变化信息重建一波前；该无穷物镜模组包含一无穷物镜及一轴传动器，且该多个光型依序通过该无穷物镜模组与该待测镜片，该多个光型通过该无穷物镜后形成多个聚集光点，并且该轴传动器调整该无穷物镜模组与该待测镜片的距离，使该多个聚集光点位于该待测镜片的焦距。
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