[发明专利]一种具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 201510958947.8 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105606331A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 林键;陈星;刘吴月;师军 | 申请（专利权）人： | 中国航天空气动力技术研究院 |
| 主分类号： | G01M9/02 | 分类号： | G01M9/02;G01K7/18 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器及其制作方法，包括：步骤一、在柔性基底上预埋多对引线；步骤二、利用镀膜设备在每对所述引线的连接端镀上一薄膜铂电阻，使得每对所述引线与一所述薄膜铂电阻连通。本发明在柔性基地上制作薄膜铂电阻热流传感器，利用柔性基本的特性使得薄膜铂电阻热流传感器无缝可贴设在复杂模型表面，测量复杂模型的热流，提高测量如舵轴，内腔，凹槽和缝隙等复杂区域热流的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 柔性 基底 薄膜 铂电阻 热流 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器的制作方法，其特征在于，包括：步骤一、在柔性基底上预埋多对引线；步骤二、利用镀膜设备在每对所述引线的连接端镀上一薄膜铂电阻，使得每对所述引线与一所述薄膜铂电阻连通。
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