[发明专利]一种真空自密封光学洁净系统在审
申请号: | 201510959613.2 | 申请日: | 2015-12-21 |
公开(公告)号: | CN105425393A | 公开(公告)日: | 2016-03-23 |
发明(设计)人: | 吴春霞;鲜玉强;陈永亮;张林;严从林;张伟;陈涛;叶长春;苏友斌 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
主分类号: | G02B27/00 | 分类号: | G02B27/00;G02B7/00 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 卿诚;吴彦峰 |
地址: | 621000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种真空自密封光学洁净系统,该方案包括有自密封装置、抽真空单元、环境监测单元、充氮气单元和操控单元;自密封装置与抽真空单元、充氮气单元和环境监测单元连接;操控单元能够接收环境监测单元的回传信号并控制抽真空单元和充氮气单元的启停。该方案结合真空自密封设备研制技术、抽真空技术、氮气置换技术、真空及洁净度环境监测技术等多种手段,为光学传输通道提供了的可实现高真空度的自密封与洁净的环境系统。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 密封 光学 洁净 系统 | ||
【主权项】:
一种真空自密封光学洁净系统,其特征是:包括有自密封装置、抽真空单元、环境监测单元、充氮气单元和操控单元;所述自密封装置与抽真空单元、充氮气单元和环境监测单元连接;所述操控单元能够接收环境监测单元的回传信号并控制抽真空单元和充氮气单元的启停。
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