[发明专利]彩膜基板及其制作方法、显示装置

摘要

本发明的实施例提供了一种彩膜基板及其制作方法、显示装置。所述彩膜基板包括：衬底基板、形成在衬底基板上的至少一种颜色的多个彩色滤光片、以及形成在衬底基板上的黑矩阵；所述黑矩阵具有多个开口，所述多个开口与所述至少一种颜色的多个彩色滤光片一一对应；其中，在垂直于所述衬底基板的横截面中：所述彩色滤光片的边缘与所述黑矩阵的开口边缘具有交叠区域。根据本发明的实施例提供的彩膜基板及其制作方法、显示装置，可以通过使用半色调掩模板技术以及正负性光刻胶技术，利用一个滤光片掩模板来形成至少一种颜色的多个彩色滤光片的图形以及黑矩阵图形；为彩膜工艺节省了一张黑矩阵掩模板，从而大大节省了生产成本。

主权项

1.一种制作彩膜基板的方法，所述彩膜基板包括衬底基板、形成在衬底基板上的至少一种颜色的多个彩色滤光片、以及形成在衬底基板上的黑矩阵；所述黑矩阵具有多个开口，所述多个开口与所述至少一种颜色的多个彩色滤光片一一对应；其特征在于，所述方法包括：利用一个半色调掩模板在所述衬底基板上形成所述至少一种颜色的多个彩色滤光片；以及利用同一个半色调掩模板形成所述黑矩阵；其中，在垂直于所述衬底基板的横截面中，彩色滤光片的边缘与黑矩阵的开口边缘具有交叠区域；在所述交叠区域中，彩色滤光片的形状和黑矩阵具有互补的形状；形成所述彩色滤光片的光刻胶为负性光刻胶；形成所述黑矩阵的光刻胶为正性光刻胶。